自然科学版 英文版
自然科学版 英文版
自然科学版 英文版

您目前所在的位置:首页 - 期刊简介 - 详细页面

中南大学学报(自然科学版)

Journal of Central South University

第21卷    第2期    总第72期    1990年4月

[PDF全文下载]    [Flash在线阅读]

    

铝在硅中的固溶度
王蔚国1,谭淞生2

(1.中南工业大学
2.中国科学院上海冶金研究所
)

摘 要: 本工作通过对过去测定铝在硅中的固溶度的部分文章和数据较详细的分析,采用液相外延方法在温度区域700℃到1000℃之间,测得固溶度界于4×1018~1.5×1019atoms/cm3,计算出相应的分凝系数,推得硅熔点1415℃的分凝系数为1.8×10-3,微分溶解热0.6eV。

 

关键字: 液相外延生长; 溶解度; 分凝; 迁移率; 相图; 硅; 铝; 温度

SOLID SOLUBILITIES OF IMPURITY ELEMENT ALUMINUM IN SILICON
王蔚国1,谭淞生2

1.中南工业大学
2.中国科学院上海冶金研究所

Abstract:The solid solubilities of impurity element aluminum in silicon has beenstudied by means of the method of liquid phase epitaxial growth. We measuredthe solid solubilities, which are 4×1018 to 1.5×1019 atoms/cm3 in the temperatureregion from 700℃ to 1000℃, and calculated the corresponding segregation coe-fficient, which is 1.8×10-3 at temperature 1415℃ of melt point of silicon. Itis also deduced that the differential heat of solution is 0.6 eV. Some previousstudies and values have been analysed and commented in detail.

 

Key words: liquid phase epitaxial growth; solubility; segregation; mobility; phase liagrams; silicon; aluminium; temperature

中南大学学报(自然科学版)
  ISSN 1672-7207
CN 43-1426/N
ZDXZAC
中南大学学报(英文版)
  ISSN 2095-2899
CN 43-1516/TB
JCSTFT
版权所有:《中南大学学报(自然科学版、英文版)》编辑部
地 址:湖南省长沙市中南大学 邮编: 410083
电 话: 0731-88879765 传真: 0731-88877727
电子邮箱:zngdxb@csu.edu.cn 湘ICP备09001153号